▲ (좌)이재용 삼성회장·빌럼-알렉산더르 네덜란드 국왕·윤 대통령·피터 베닝크 ASML 최고경영자·최태원 SK회장/연합뉴스

[리더스팩트 윤태경 기자] ASML에서는 12일 네덜란드 외교일정에서 빌럼 알렉산더르 네덜란드 국왕이 자리한 가운데 MOU 서명식을 진행했다. 삼성·ASML 협력 MOU를 비롯해 SK하이닉스·ASML 협력 MOU, 정부 간 첨단 반도체 아카데미 협력 MOU 등 3건이 체결됐다. 

삼성전자와 ASML이 공동으로 1조원을 투자해 내년부터 한국에 설립하는 R&D센터는 반도체 초미세 공정에 필수인 극자외선(EUV)을 기반으로 초미세 제조 공정을 공동 개발하게 된다. 

SK하이닉스는 ASML과 EUV용 수소가스 재활용 기술 공동 개발 MOU를 체결했다. EUV 장비 내부의 광원 흡수 방지용 수소가스를 소각하지 않고 재활용하는 기술을 공동 개발하는 내용이다. EUV 장비 1대당 전력 사용량을 20% 감축하고, 연간 165억원의 비용 절감 효과가 기대된다는 게 대통령실 설명이다. 한·네덜란드 정부 간 체결된 MOU를 통해 양국 반도체 관련 석·박사급 대학원생과 엔지니어 50명씩이 참여해 공동 연구를 진행한다.

ASML은 웨이퍼에 회로를 새기는 노광 장비 생산 업체로, 세계 최첨단 기술을 보유하고 있다. 반도체 장비와 소재 분야가 상대적으로 취약한 한국의 약점을 소재·장비 주도국인 네덜란드와의 전략적 연대를 통해 보완한다는 의미가 있다. ASML은 이날 청정 공간인 ‘클린룸’을 외국 정상 중 처음으로 윤 대통령에게 공개했다. 이곳은 2㎚(나노미터·1㎚는 10억분의 1m) 이하 최첨단 반도체 생산에 투입되는 차세대 EUV 장비가 제조되는 출입통제 구역이다. 

양국 정상 주재로 주요 반도체 기업 대표가 참여하는 기업인 간담회도 진행됐다. 한국 측은 이재용 회장과 최태원 회장, 네덜란드 측은 피터 베닝크 ASML CEO, 증착 장비를 생산하는 ASM의 벤자민 로 CEO, 안드레아스 페허 자이스CEO, 연구기관 IMEC의 루크 반 덴 호브 CEO 등이 참석했다.